½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ °¡°Ý°ú oxidation °øÁ¤ ¹®ÀÇ |
ÃÖ¿µÈ¯ |
, 2012-03-09[11:08], Á¶È¸ : 2003, Ãßõ : 260 |
|
|
±âÁ¸¿¡ »ç¿ëÇÏ´ø ¿þÀÌÆÛ¿Í °°Àº ½ºÆåÀ¸·Î »ç·Á°í ÇÏ·Á´Âµ¥¿ä
Ȥ½Ã undoped, double polished, 3ÀÎÄ¡ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛÀÇ °¡°Ý°ú 90nm oxidationÀÌ °¡´ÉÇÑÁöµµ ¾Ë°í ½Í½À´Ï´Ù. °¡´ÉÇÏ´Ù¸é oxidation °øÁ¤ °¡°Ý±îÁöµµ ¾Ë°í½Í½À´Ï´Ù.
¼ö°íÇϽʽÿÀ
ÃÖ¿µÈ¯ µå¸². |
2012-03-09[11:08] |
|